Разработка конструкции и технологии планарной структуры совмещенной интегральной микросхемы 113-ой серии К1ТР131 с диэлектрической изоляцией и скрытым n+-с

Тип работы:
Курсовая
Предмет:
Электротехника
Страниц:
40

1760 Купить готовую работу
Узнать стоимость

Детальная информация о работе

Выдержка из работы


В процессе проектирования производятся:
— разработка планарной структуры интегральной микросхемы;
— выбор полупроводникового материала для изготовления данной микро-схемы;
— расчет параметров технологических процессов;
— разработка общей схемы технологического процесса изготовления полупроводниковой интегральной микросхемы;
— разработка общего топологического чертежа кристалла и комплекта фотошаблонов для изготовления данной микросхемы;
— подготовка конструкторской документации.

ПоказатьСвернуть

Содержание

Введение 4

1. Описание конструкции и структуры элементов микросхемы 5

1.1 Основные параметры микросхемы 5

1.2. Описание конструкции и структуры микросхемы 6

1.3 Общий вид планарнлой структуры 8

2. Изложение предпосылок для выбора полупроводникового материала 10

2.1. Выбор полупроводникового материала 10

2.2. Расчет удельных сопротивлений эпитаксиального слоя и подложки 11

3. Расчет параметров технологических процессов 12

3.1. расчет ширины изоляции 12

3.2. вычисление параметров диффузии на этапах загонки разгонки 12

1. Формирование базы (диффузия бора). 12

2. Формирование эмиттера (диффузия фосфора). 14

3. Параметры процесса диффузии бора и фосфора. 14

3.3. Расчет длины резистров 15

4. Описание технологического процесса изготовления планарной структуры данной микросхемы 17

4.1. описание основных операций процесса 17

4.2. Описание процесса эпитаксии 20

4.3. Общая схема технологического процесса 25

Литература 34

ПРИЛОЖЕНИЯ 35

Приложение 1 36

Приложение 2 37

Приложение 3 38

Приложение 4 39

Приложение 5 40

Список литературы

1. Скворцов А. М., Халецкий Р. А. Литография в микроэлектронике — Учебное пособие. СПб: СПбГУИТМО (ТУ), 2003.

2. Скворцов А. М., Халецкий Р. А. Легирование в микроэлектронике — Учебное пособие. СПб: СПбГУИТМО, 2009.

3. Готра З. Ю. Технология микроэлектронных устройств. Справочник. — М. :Радио и связь, 1991.

Заполнить форму текущей работой