Исследование поверхностных слоев методом рентгеновской рефлектометрии

Тип работы:
Диссертация
Предмет:
Физико-математические науки
Страниц:
130


Узнать стоимость

Детальная информация о работе

Выдержка из работы

В настоящее время производство изделий оптики и микроэлектроники требует формирования однослойных и многослойных композиций различного функционального назначения на диэлектрических, полупроводниковых и металлических подложках. Примерами таких структур могут служить оптические интерференционные покрытия, зеркала мягкого рентгеновского диапазона, полупроводниковые сверхрешетки. Особенностью современной электроники является использование все более тонких слоев и переход от микро- к наноразмерным пленкам. Использование субмикронных и наноразмерных покрытий предъявляет повышенные требования к качеству поверхности подложки и состоянию границ раздела между слоями и однородности отдельных слоев.

Состояние поверхности может быть экспериментально оценено различными оптическими и зондовыми методами, каждый из которых имеет свои достоинства и области применения. Общим недостатком являются трудность анализа сверхгладких поверхностей и невозможность получения информации о состоянии скрытых границ раздела. Необходимость исследования сверхгладких поверхностей на значительных площадях делает актуальным переход от оптических методов к рентгеновским, позволяющим изучать особенности структуры с масштабами, сравнимыми с длиной волны рентгеновских лучей.

В настоящей работе для анализа поверхности и границ раздела между слоями применен метод рентгеновской рефлектометрии. Достоинствами метода является его неразрушающий характер, возможность исследования любых материалов в композициях пленка — подложка. Теория метода рентгеновской рефлектометрии в настоящее время активно развивается [1], однако адекватность различных теоретических моделей может быть проверена только при анализе большого количества экспериментальных данных, полученных при исследовании реальных объектов.

Состояние поверхности подложки определяется не только базовыми процессами механической и химико-динамической обработки на этапе ее изготовления, но и процессами очистки и травления перед нанесением слоев. Это обусловливает необходимость контроля состояния поверхности пластин на каждом технологическом этапе. В полной мере это относится и к поверхности нанесенных пленок в случае формирования многослойных композиций.

При создании многослойных композиций особенно важными становятся вопросы определения параметров отдельных слоев (толщина, электронная плотность) и состояния межслойных границ (шероховатость). Следует отметить, что совокупность этих характеристик не может быть получена другими, даже разрушающими, методами.

В настоящее время в приборах, используемых в оптике мягкого рентгеновского диапазона (длина волны > 10 А), применяются многослойные интерференционные структуры (МИС), полученные путем осаждения на подложку чередующихся слоев различных материалов с толщинами порядка нескольких десятков ангстрем. В качестве сильнопоглощающего слоя обычно выбирают металлы W, Ni и т. д., а слабопоглощающие слои создают на основе В, С, Si. Во многих случаях это приводит к трудностям формирования границ раздела между материалами с разными физико-химическими свойствами. [2]. Эти сложности легко преодолеваются при построении многослойной структуры на основе только одного компонента, если при получении материала в виде пленки появляется возможность управлять свойствами вещества в ней путем вариации технологических параметров. Одним из таких компонентов является углерод, атомы которого могут образовывать состояния с различными типами орбитальной гибридизации, позволяя при этом получать материалы с широким интервалом изменения механических, электрических и оптических свойств. Поэтому изучение таких материалов и их композиций представляет несомненный теоретический и практический интерес.

Целью работы являлось экспериментальное исследование параметров сверхгладких подложек, наноразмерных пленок и многослойных композиций на их основе методом рентгеновской рефлектометрии.

Апробация работы 6

Основные результаты диссертации докладывались на III International conference «Applications of diamond films and related materials» Gaithesburg, 1995- НТК & quot-Вакуумная наука и техника& quot- Гурзуф, 1995- VII, IX, XI Всероссийских НТК & quot-Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления& quot- Гурзуф, 1995, 1997, 1999- SPIE conference X-ray and EUV/FUV Spectroscopy and Polarimetry, San-Diego, 1995 — 4-ой международной конференции & quot-Компьютерное конструирование перспективных материалов& quot- Томск 1995- VI конференции & quot-Физика и технология алмазных материалов& quot- Москва, 1996- 1,11, III Национальных конференциях по применению рентгеновского, синхротронного излучений, нейтронов и электронов для исследования материалов, Дубна, 1997, Москва, 1999, Москва 2001- SPIE conf. X-Ray Optics, Design, Performance and Applications, Denver, 1997, 1999- Всероссийском совещании & laquo-Рентгеновская оптика& raquo- Н. Новгород, 1998 г., Ин-т физики микроструктур РАН- 7th, 8th, 9th European conference on Diamond, Diamond-like and related materials, Tours, France, 1996, Edinburgh, Scotland, 1997, Crete, 1998- VII, VIII, IX, X, XI Межнациональных совещаниях Радиационная физика твердого тела, Севастополь, 1997, 1998, 1999, 2000, 2001 г

Публикации

По материалам диссертации опубликована 31 работа.

Основные результаты диссертации опубликованы в работах

1. A.M. Baranov, P.E. Kondrashov, E.G. Novoselova, I.S. Smirnov, V.V. Sleptsov Multilayer interference structures for X-ray mirrors based on carbon films: Abstr. Ill International conf. «Applications of diamond films and related materials» Gaithesburg, 1995, p. 817

2. Д. Э. Гуринов, Е. Г. Новоселова, И. С. Смирнов Рентгенорефлектометрический анализ тонких пленок, наносимых вакуумно-технологическими методами: Тезисы докладов НТК & quot-Вакуумная наука и техника& quot- - М. :МГИЭМ, 1995, с. 37

3. Д. Э. Гуринов, Е. Г. Новоселова, И. С. Смирнов. Система комплексной диагностики гладких поверхностей методом полного внешнего отражения рентгеновских лучей: Тез. докл. Всероссийской НТК & quot-Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления& quot- -М. :МГИЭМ, 1995, с. 127.

4. A.M. Baranov, P.E. Kondrashov, E.G. Novoselova, I.S. Smirnov, V.V. Sleptsov Broadband mirror for soft X-ray optics: Proc. SPIE conf. X-ray and EUV/FUV Spectroscopy and Polarimetry, San-Diego, 1995, v. 2517, p. 126−132.

5. A.M. Baranov, P.E. Kondrashov, E.G. Novoselova, I.S. Smirnov. Analysis of parameters of Multilayer carbon interference Structures in the soft X-ray range //Diamond and related materials, 1995, v. 4, p. 1412.

6. А. М. Баранов, П. Е. Кондрашов, Е. Г. Новоселова, И. С. Смирнов А.Н. Тихонов Принцип формирования углеродной среды с особыми физическими свойствами на основе наноразмерных пленок: Материалы 4-ой межд. конференции & quot-Компьютерное конструирование перспективных материалов"-Томск 1995, с. 87.

7. A.M. Baranov, P.E. Kondrashov, E.G. Novoselova, I.S. Smirnov, V.P. Petukhov, Analysis of parameters of multilayer carbon interference structures in the soft X-ray range // Appl. Phys. Letters, 1996, v. 69, N 3, p. 305 -307.

8. А. М. Баранов, П. Е. Кондрашов, Е. Г. Новоселова, И. С. Смирнов, Возможность применения многослойных углеродных структур в качестве

9. A.M. Baranov, P.E. Kondrashov, E.G. Novoselova, I.S. Smirnov. Capabilities of combined studies of DLC films by X-Ray methods: Abstr. 7th Europ. conf. on Diamond, diamond-like and related materials, Tours, France, 1996, p.8. 076 -8. 078

10. A.M. Baranov, P.E. Kondrashov, E.G. Novoselova, I.S. Smirnov. Use of diamondlike carbon films in X-ray optics: Abstr. 5th Int. conf. on the New diamond science and technology. Tour, France, 1996, p. 12. 128 -12. 130.

11.A.M. Baranov, P.E. Kondrashov, E.G. Novoselova, I.S. Smirnov Non-classical multilayer periodic structures based on DLC films // Diamond and related materials, v. 5, 1996, p. 448−452.

12.A.M. Baranov, P.E. Kondrashov, E.G. Novoselova, I.S. Smirnov Possibility of creation of high-quality mirrors: Proc. SPIE, v. 2805, 1996, p. 254−259

13.A.M. Baranov, P.E. Kondrashov, E.G. Novoselova, I.S. Smirnov. Capabilities of combined studies of DLC films by X-ray methods. //Diamond and related materials 1997, v. 6, p. 1784−1788.

14.A.M. Baranov, P.E. Kondrashov, E.G. Novoselova, I.S. Smirnov. Use of diamondlike carbon films in X-ray optics //Diamond and related materials, v. 6, 1997, p. 902−905.

15.А. М. Баранов, П. Е. Кондрашов, Е. Г. Новоселова, В. П. Петухов, И. С. Смирнов. Применение рентгеновских методов для создания и исследования углеродных сверхрешеток: Тез. Национальной конференции по применению рентгеновского, синхротронного излучений, нейтронов и электронов для исследования материалов, Дубна, 25−29 мая 1997, с. 297.

16.A.M. Baranov, P.E. Kondrashov, E.G. Novoselova, I.S. Smirnov. Comparative characteristics of diamond-like carbon and metal-carbon x-ray mirrors: Abstr. 8th Europ. conf. on Diamond, Diamond-like and Related materials, 1997, Edinburgh, Scotland, 3−8 Aug., p.9. 126.

17.Е. Г. Новоселова, И. С. Смирнов, Г. Г. Соловьев, И. Г. Сахарова. Влияние протонного облучения на параметры поверхности кремниевых структур.: Материалы VII Межнационального совещания & quot-Радиационная физика твердого тела& quot-, Севастополь, 1997 г. М. :НИИ ПМТ при МГИЭМ, 1997, с. 64−65

18.A.M. Baranov, P.E. Kondrashov, E.G. Novoselova, V.P. Petukhov I.S. Smirnov. Comparative analysis of diamond-like carbon and metal-carbon x-ray mirrors: Proc. SPIE, 1997, v. 3152, p. 122−127.

19.Д. Э. Гуринов, Е. Г. Новоселова, И. С. Смирнов. Диагностика гладких поверхностей методом полного внешнего отражения рентгеновских лучей.: Тезизы докладов IX НТК Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления, Гурзуф, 1997. М. МГИЭМ, 1997, с. 64−65.

20.А. М. Баранов П.Е. Кондрашов, Е. Г. Новоселова, В. П. Петухов, И. С. Смирнов. Сравнительные характеристики углеродных и металл-углеродных многослойных рентгеновских зеркал: Материалы Всероссийского совещания & laquo-Рентгеновская оптика& raquo- Н. Новгород, 23−26 февраля 1998 г., Ин-т физики микроструктур РАН, с. 138−144.

21.Е. Г. Новоселова, И. С. Смирнов, Г. Г. Соловьев Исследование поверхности кремния, облученного протонами, методом рентгеновской рефлектометрии: Труды VIII межнац. Совещания Радиационная физика твердого тела, Севастополь, 29июня- 4 июля 1998 г. М. :НИИ ПМТ при МГИЭМ, 1998, с. 103 -108.

22.A.M. Baranov, P.E. Kondrashov, E.G. Novoselova, V.P. Petukhov. Comparative characteristics of diamond-like carbon and metal-carbon x-ray mirrors //Diamond and related materials, v. 7, N12, 1998, p. 1534−1538.

23.Д. Э. Гуринов, В. Л. Залесский, Е. Г. Новоселова. Рентгеновский рефлектометр для диагностики поверхностей и нанороазмерных пленок Материалы XI НТК Датчик 99 М.: МГИЭМ, 1999 г., с. 151.

24.Е. Г. Новоселова, И. С. Смирнов, Г. Г. Соловьев. Рентгеновская рефлектометрия кремниевых пластин, имплантированных протонами. :

25.А. М. Баранов П.Е. Кондрашов, Е. Г. Новоселова, В. П. Петухов, И. С. Смирнов. Многослойные углеродные структуры, полученные методами ионно-плазменного осаждения.: Труды IX межнационального Совещания Радиационная физика твердого тела, Севастополь, 28июня- 3 июля 1999 г, М. :НИИ ПМТ при МГИЭМ, 1999, с. 261−267.

26.А. М. Баранов, В. Л. Залесский, П. Е. Кондрашов, Е. Г. Новоселова, В. П. Петухов. Стабильность углеродных рентгеновских зеркал в условиях облучения и высоких температур: Труды IX межнационального Совещания Радиационная физика твердого тела, Севастополь, 28июня- 3 июля 1999 г, М.: НИИ ПМТ при МГИЭМ, 1999, с. 268−277.

27.V. Arkadiev, A. Baranov, A. Erko, P. Kondrashov, N. Langhoff, E. Novoselova, I. Smirnov, M. Veldkamp, I. Packe. Carbon/carbon multilayers for synchrotron radiation. Proc. SPIE X-Ray Optics, Design, Performance and Applications, 20−21 July 1999, Denver, Colorado, v. 3773, pp. 122−127.

28.А. М. Баранов П.Е. Кондрашов, Монахов И. С., Е. Г. Новоселова, И. С. Смирнов. Метод in-situ рентгеновской рефлектометрии для контроля параметров поверхностных слоев: Труды X межнационального Совещания Радиационная физика твердого тела, Севастополь, 3−8 июля 2000 г., М: НИИ ПМТ, 2000, с. 406−410.

29.Е. Г. Новоселова, И. С. Смирнов, М. Л. Шупегин. Анализ поверхностного рельефа, формирующегося при ионном травлении пленок хрома.: Тезисы докладов III Национальной конференции по применению Рентгеновского, Синхротронного излучений, нейтронов и электронов для исследования материалов, Москва, ИКАН, 2001 г., с. 270.

30.В. В. Арсланов, В. В. Беляев, Т. В. Букреева, О. В. Коновалов, И. В. Мягков, Е. Г. Новоселова, И. С. Смирнов, Л. А. Фейгин. Получение пленок Лэнгмюра-Блоджетт из солей стеариновой кислоты с различными металлами в соседних бислоях.: Тезисы докладов III Национальной конференции по применению Рентгеновского, Синхротронного излучений, нейтронов и электронов для исследования материалов, Москва, ИКАН, 2001 г., с. 197.

31.В. Л. Эалесский, Е. Г. Новоселова, И. С. Смирнов, М. Л. Шупегин. & quot-Рентгенорефлектометрическое исследование пленок хрома при ионном травлении& quot-: Труды XI межнационального совещания & quot-Радиационная физика твердого тела& quot-, М. :НИИ ПМТ, 2001 г., с. 445−450.

ПоказатьСвернуть

Содержание

Глава 1. Аналитический обзор литературы

1.1. Современные представления о морфологии 7 поверхности. Фрактальные поверхности.

1.2. Поверхность осажденных пленок и строение границ 11 раздела в многослойных структурах.

1.3. Методы исследования поверхностного рельефа

1.4. Методы измерения параметров сверхтонких покрытий.

1.5. Метод рентгеновской рефлектометрии

1.5.1. Оптика рентгеновских лучей

1.5.2. Явление полного внешнего отражения

1.5.3. Диффузное рассеяние в режиме полного внешнего 32 отражения

1.5.4. Модели, учитывающие наличие переходного 36 поверхностного слоя

1.5.5. Анализ неоднородностей распределения 38 электронной плотности

1.5.6. Возможности восстановления профиля электронной 41 плотности в поверхностном слое

1.6. Многослойные структуры

Глава 2. Методика проведения эксперимента

2.1. Рентгеновский рефлектометр

2.2. Факторы, влияющие на искажение идеальной 54 рефлектограммы

2.3. Измерения зеркального отражения

2.4. Измерения диффузного рассеяния

Список литературы

1. V. Holy, U. Pietsch, T. Baumbach. X-Ray Scattering from Thin Films // Springer Tracts in Modern Physics, v. 149. — Springer, Berlin, 1998.

2. В. И. Трофимов, В. А. Осадченко. Рост и морфология тонких пленок. -М. :Энергоатомиздат, 1993, 272 с.

3. B.B. Mandelbrot. The fractal geometry of nature. W.H. Freeman, N. York, 1982 -254 p.

4. В. В. Зосимов, Л. М. Лямшев. Фракталы в волновых процессах. // Успехи физ. наук, 1995, т. 165, № 4, с. 361−401

5. M. Lutt, J.P. Schlomka, M. Tolan, J. Stettner et al. Kardar-Parisi-Zhang growth of amorphous silicon on Si/Si02. Phys. Rev. B, 1997, v. 56, N7, p. 4085−4091.

6. M.F. Toney, S. Brennan. Measurements of carbon thin films using x-ray reflectivity. J. Appl. Phys, 1989, v. 66, N4, p. 1861−1863.

7. C. Thompson, G. Palasantras, Y.P. Feng, S.K. Sinha, J. Krim. X-ray reflectivity study of the growth kinetics of vapor-deposited silver films. Phys. Rev. B, 1994, v. 49, N7, pp. 4902−4907

8. R. Chiarello, V. Panella, J. Krim, C. Tompson, X-ray reflectivity and adsorption isoterm study of fractal scaling in vapor-deposited films, Phys. Rev. Lett., 1991, v. 67, No. 24, p. 3408−3411.

9. M. Tolan. X-ray scattering from soft matter thin films. Material science and basic research. Springer tracts in modern physics. Springer-Verlag, Berlin, v. 148, march 1999.

10. G. Palasantras, J. Krim. Effect of the form of the height-height correlation function on diffuse x-ray scattering from a self-affme surface. Phys. Rev. B, 1993, v. 48, N5, pp. 2873−2877.

11. J. Krim, G. Palasantzas, Experimental observations of self-affme scaling and kinetic roughening at sub-micron length scales, Int.J. Mod. Phys. B, 1995, v. 9, No. 6, P 599−632.

12. W. Press, M. Tolan, J. Stettner, O.H. Seeck, J.P. Schlomka, V. Nitz, L. Schwalowsky, P Muller-Buschbaum, D. Bahr, Roughness of surfaces and interfaces, Physica B, 1996, v. 221. No. 1−4, p. 1−9.

13. И.В. Дунин-Барковский, А. И. Карташева. Измерение и анализ шероховатости, волностности и некруглости поверхности-М. Машиностроение: 1978, 320с.

14. Guenther К.Н., Wierer P.G. Surface roughness measurements of low-scatter mirrors and roughness standards. Appl. Opt., 1984, v. 23, p. 3820−3836.

15. Х. Е. Беннет, Дж.М. Беннет. //Физика тонких пленок, т.4. М. :Мир, 1979, 390 с.

16. W.B. Ribbens. Interferometric surface roughness measurement. Appl. Opt., 1969, v. 8, p. 2173−2179.

17. Eastman J.M. Measurement of the microtopography of optical surface using scanning fizeau interferometer. J. Opt. Soc. Amer., 1974, v. 64, p. 1369−1380.

18. G.E. Sommargren. Optical heterodyne profilometer. Appl. Opt., 198l, v. 20, p. 610−615.

19. M. Huppauff, B. Lengeler. Surface analysis of floatglass by means of x-ray absorption, reflection and fluorescence analysis. J. Appl. Phys., 1994, v. 75, N2, pp. 785 791.

20. I.W. Hamley, J.S. Pedersen. Analysis of neutron and X-ray reflectivity data. I. Theory. J. Appl. Cryst., 1994, v. 27, pp. 29−35.

21. Поверхностные поляритоны. Электромагнитные волны на поверхностях и границах раздела. Пер. с англ. под ред.В. М. Аграновича. М. :Наука, 1985.

22. И. А. Брытов, А. Я. Грудский. Аппаратура и методы измерения шероховатости & quot-сверхгладких"- поверхностей. Измерения, контроль, автоматизация, 1983, № 4, с. 3−12.

23. Silva J.R., Orazio F.D. Scatter evaluation of supersmooth surfaces. Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng., 1983, v. 384, p. 2−11.

24. Зеркальная рентгеновская оптика/ под ред. А. В. Виноградова. JI. Машиностроение, 1989, 463 с.

25. R. DeJule. Advances in Thin Film measurement. Semiconductor International, may 1998, pp. 52−58

26. А. Мишетт, Оптика мягкого рентгеновского излучения. М.: Мир 1989, 351с.

27. Л. К. Израилева, И. Б. Боровский. Исследование формул Френеля в рентгеновской области. Изв. АН СССР. Сер. физич. 1972, т. 36, № 2, с. 438−450.

28. М. Борн, Э. Вольф, Основы оптики, М.: Наука, 1970.

29. L.G. Parrat, Surface studies of solids by total reflection of x-rays // Phys. Rev., 1954, v. 95, N2, p. 359−369.

30. D.K.G. de Boer, Influence of the roughness profile on the specular reflectivity of x-rays and neutrons, Phys. Rev. B, 1994, v. 49, No. 9, p. 5817−5820.

31. D.K.G. de Boer, X-ray reflection and transmission by rough surfaces, Phys. Rev. B, 1995, v. 51, p. 5297−5305.

32. L. Nevot, P. Croce, Caracterisation des surfaces par reflexion rasantes de rayons X. Application a l’etude du polissage de quelques verres silicates//Rev. Phys. AppL, 1980, v. 15, p. 761−779.

33. R. Pynn, Neutron scattering by rough surfaces at grazing incidence, Phys. Rev. B, 1992, v. 45, No. 2, p. 602−612

34. B. Vidal, P. Vincent. Metallic multilayers for x-ray using classical thin-film theory Appl. Opt., 1984, v. 23, pp. l794−1801

35. D.K.G. de Boer, A.J.G. Leenaers, Probing interface roughness by X-ray scattering, PhysicaB, 1996, v. 221,1−4, p. 18−26.

36. Y. Yoneda, Anomalous surface reflection of X-rays, Phys. Rev., 1963, v. 131, p. 2010−2013.

37. M. Rauscher, T. Salditt, H. Spohn, Small-angle x-ray scattering under grazing incidence: The cross section in the distorted-wave approximation, Phys. Rev. B, 1995, v. 52, No. 23, p. 16 855−16 863.

38. S.K. Sinha, X-ray diffuse scattering as a probe for thin film and interface structure, J. de Phys. Ш (France), 1994, v. 4, No. 9, p. 1543−1557.

39. S.K. Sinha, Surface roughness by X-ray and neutron scattering methods, Acta phys. Polon, 1996, v. 89, N2, p. 219−234.

40. D.K.G. de Boer, A.J.G. Leenaers, W.W. van den Hoogenhof, Influence of roughness profile on reflectivity and angle-dependent x-ray fluorescence, J. Phys III France., 1994, v. 4, No. 9, p. 1559−1564.

41. W.W.V.D. Hoogenhof, D.G.K. de Boer, GIXA, a novel technique in near surface analysis, Mater. Sci. Forum, 1994, v. 143−147, pt. 3, p. 1331−1335.

42. D.E. Savage, J. Kleiner, N. Schimke, Y. -H. Phang, T. Jankowski, J. Jacobs, R. Cariotis, M.G. Lagally. Determination of roughness correlations in multilayer films for x-ray mirrors. J. Appl. Phys., 1991, v. 69, N3, pp. 1411−1424.

43. W. Weber, B. Lengeler. Diffuse scattering of hard x rays from rough surfaces. Phys. Rev. B, 1992, v. 46 N11, pp. 7953−7956.

44. M. Wormington, I. Pape, T.P.A. Hase, B.K. Tanner, D.K. Bowen. Evidence for grading at polished surfaces from grazing-incidence X-ray scattering. Phil. Mag. Lett., 1996, v. 74, N3, p. 213−216

45. V. Holy, T. Baumbach, Nonspecular X-ray reflection from rough multilayers, Phys. Rev. B, 1994, v. 49, p. 10 668−10 676.

46. V. Holy, Diffuse X-ray scattering from non-ideal periodical crystalline multilayers, Appl. Phys. A, 1994, v. 58, No. 3, p. 173−180.

47. T. Salditt, T.H. Metzger, Ch. Brandt, U. Klemradt, J. Peisl., Determination of the static scaling exponent ofs elf-affine interfaces by nonspecular x-ray scattering, Phys. Rev. B, 1995, v. 51, No. 9, p. 5617−5627.

48. A.V. Andreev, Theory of X-ray scattering by rough surfaces without distorted wave approximation, Phys. Lett. A, 1996, v. 219, No. 5−6. p. 349−354.

49. Андреев, Симметрийные свойства полей, отраженных шероховатыми поверхностями, ЖЭТФ, 1996, Т. 110, N. 6, С. 2111−2126.

50. V.E. Asadchikov, A. Duparre, S. Jacobs, I.V. Kozhevnikov, et al. Comparative study of the roughness of optical surfaces and thin films using atomic force microscopy, x-ray scattering and light scattering methods. Applied Optics, 1999, v. 38, N4, pp. 684−692.

51. В. В. Протопопов, К. А. Валиев, Р. М. Имамов. Прибор для оперативного контроля шероховатости сверхгладких поверхностей больших размеров методом рентгеновского сканирования. -Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2000, т. 66, № 1, с. 32−37

52. В. В. Протопопов, К. А. Валиев, Р. М. Имамов. Сравнительные измерения шероховатости подложек рентгеновских зеркал методами рентгеновской рефлектометрии и сканирующей зондовой микроскопии. Кристаллография, 1997, № 4, с. 747−754.

53. Н. В. Востоков, С. В. Гапонов, В. Л. Миронов и др. Поверхность, 2001, № 1, с. 38

54. М. С. Бибишкин, С. Ю. Зуев, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало. Определение микрошероховатости поверхностей с помощью мягкого рентгеновского излучения. Материалы совещания & quot-Рентгеновская оптика -2002″. Н. Новгород: Ин-т физики микроструктур РАН, 2002, с. 186−188.

55. Г. Пааш, М. Хитшольд. Достижения электронной теории металлов. Под ред Цише П. М. М. :Мир, 1984, т. 2, 466 с.

56. Н. Лэнг. Теория неоднородного электронного газа. Под ред. Лундквиста С., МаргаН. М. :Мир, 1987, с. 117

57. Л. А. Смирнов, Т. Д. Сотникова, Б. С. Анохин. О полном внешнем отражении рентгеновских лучей от шероховатой поверхности. Оптика и спектроскопия, 1979, т. 46, с. 593−596.

58. N. Gilev, V.E. Asadchikov, A. Duparre, N.A. Havronin, I.V. Kozhevnikov, Yu.S. Krivonosov et al. X-ray investigations of a near surface layer of metal samples. Proc. SPIE, 2000, v. 4099, pp. 279−289.

59. M.J. Capitan, D. Thiaudiere, L. Goirand, R. Taffut, S. Lequien. The ID01 beamline at the E.S.R.F.: the diffuse scattering technique applied to surface and interface studies. Physica B, 2000, v. 283, pp. 256−261.

60. Б. М. Алаудинов, И. А. Артюков, В. Е. Асадчиков, А. Ю. Карабеков, И. В. Кожевников. Об оптической модели поверхности в рентгеновском диапазоне. Кристаллография, 1994, т. 39, № 4, с. 605−616.

61. A. Artioukov, V.E. Asadchikov, I.V. Kozhevnikov. Effects of a near-surface transition layer on X-ray reflection and scattering. J. of X-Ray Science and Technology, 1996, v. 6, pp. 223−243

62. W. Press, M. Tolan, J. Stettner, O.H. Seeck, J.P. Schlomka, V. Nitz, L. Schwalowsky, P Muller-Buschbaum, D. Bahr, Roughness of surfaces and interfaces, Physica B, 1996, v. 221. No. 1−4, P- 1−9.

63. S.K. Sinha, Y.P. Feng, C.F. Metendres, D.D. Lee, T.P. Russel, S.K. Satija et al. Off-specular X-ray studies of the morphology of thin films. Physica A, 1996, v. 231, pp. 99−110.

64. Z. Cai, K. Huang, P.A. Montano, T.P. Russel, J.M. Bai, G.W. Zajac. Experimental study of the surface structure of diblock copolymer films using microscopy and x-ray scattering. J. Chem. Phys. 1993, v. 98, N3, pp. 2376−2386.

65. W. Wu. Off-specular reflection from flat interfaces. J. Chem. phys., 1994, v. 101, N5, pp. 4198−4204.

66. P. Kosmol. Methoden zur numerishen Behandlung nichtlinearer Gleichungen und Optimierungsaufgaben.- BG Teubner Studienbucher, Stuttgart, 1989.

67. W.E. Wallace, W.L. Wu. A novel method for determining thin film density by energy-dispersive x-ray reflectivity. Appl. Phys. Lett., 1995, v. 67, N9, p. 1203−1205.

68. М. Херман Полупроводниковые сверхрешетки. М: Мир, 1989, 238 с.

69. M. Manciu, L. Dudas, C. Surgers, R. Manaila. Structural parameters of multilayers from X-ray reflectivity: an easy-to-handle approach. J. Appl. Cryst., 1995, v. 28, pp. 160−167.

70. M. Manciu, P. Kordos, H. Hartdegen, R. Manaila. Structural parameters of multilayers as deduced from x-ray specular reflectivity: effect of statistical thickness fluctuations. J. Appl. Cryst., 1996, v. 29, pp. 632−637

71. N.F. Berk, C.F. Majkrzak. Using parametric В splines to fit specular reflectivities. Phys. Rev. B, 1995, v. 51, N17, pp. 11 296−11 309.

72. P. Schlomka, M. Tolan, L. Schwalowsky, O.H. Seeck, J. Stettner, W. Press, X-ray diffraction from Si/Ge layers: diffuse scattering in the region of total external reflection, Phys. Rev. B, 1995, v. 51. N 4. p. 2311 -2321.

73. M.J. Bedzyk, G.M. Bommarito, J.S. Schildkraut. X-ray tsanding waves at a reflecting mirror surface. Phys. Rev. Lett., 1989, v. 62, N12, pp. 1376−1379.

74. J.H. Underwood and T.W. Barbee, Layered synthetic microstryctures as Bragg dif-fractors for x-ray and extreme ultraviolet: Theory and predicted performance, Appl. Opt, 20, 3027−3034, 1981.

75. А. М. Баранов, П. Е. Кондрашов, Е. Г. Новоселова, И. С. Смирнов, Возможность применения многослойных углеродных структур в качестве высокоотра-жающих, селективных зеркал //Письма в ЖТФ 1996, № 4, с. 815.

76. A.M. Baranov, P.E. Kondrashov, E.G. Novoselova, I.S. Smirnov Non-classical multilayer periodic structures based on DLC films // Diamond and related matrerials, v. 5, 1996, p. 448−452

77. Н. Н. Салащенко, Ю. Я. Платонов, С. Ю. Зуев. Многослойная оптика мягкого рентгеновского диапазона. Поверхность, 1995, № 10, с. 5−20.

78. Рентгеновская оптика и микроскопия, под ред. Г. Шмаля, Д. Рудольфа, М. :Мир, 1987,463с.

79. И. А. Артюков, А. В. Виноградов, В. В. Кондратенко, А. И. Федоренко, С. А. Юлин. Эксперименты по получению изображений субмикронных структур в мягких рентгеновских лучах. Микроэлектроника, 1996, т. 25, № 1, с. 54−59

80. A. Gibaud G. Vignaud, S.K. Sinha. The correction of geometrical factors in the analysis of x-ray reflectivity. Acta Cryst. A, 1993, v. 49, pp. 642−648.

81. О. В. Коновалов, Л. А. Фейгин, Б. М. Щедрин. Учет приборных искажений при моделировании структуры пленок Лэнгмюра-Блоджетт по рефлектометриче-ским данным. Кристаллография, 1996, т. 41, № 4, с. 629−634.

82. A. Segmuller. Observation of x-ray interferences on thin films of amorphous silicon. Thin solid films, 1973, v. 18, pp. 287−294.

83. M.A. Блохин, И. Г. Швейцер. Рентгеноспектральный справочник.М. :Наука, 1982, 374 с.

84. О. В. Коновалов, Л. А. Фейгин, Б. М. Щедрин. Статистическая оценка точности определения параметров структуры по данным рентгеновской и нейтронной рефлектометрии. Кристаллография, 1996, т. 41, № 4, с. 640−643.

85. R. Stommer, H. Gobel, A.R. Martin, W. Hub, U. Pietsch. X-ray scattering from silicon surfaces. Semiconductor international, may 1988, pp. 81−88.

86. А. В. Балаков. Алмазоподобные углеродные покрытия: проблемы и достижения. ОМР, 1989, № 6, с. 48−56

87. The Physics of Hydrogenated Amorphous Silicon, ed. J.D. Joannopoulos, G. Lucovsky, Springer, 1984.

Заполнить форму текущей работой